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华海清科取得发明专利授权:“一种晶圆夹持组织和晶圆后处理设备”

来源:江南体育全站    发布时间:2024-04-10 03:52:53

16)危化品罐区的可燃或腐蚀性物料出口管线,其支架未设置吊式压式绷簧补偿办法,或直接选用挠性衔接短管 24)未安装有用的阻火器和车况不合格(照明灯损坏或刹车失灵)槽车进入罐区

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  证券之星音讯,依据企查查多个方面数据显现华海清科(688120)新取得一项发明专利授权,专利名为“一种晶圆夹持组织和晶圆后处理设备”,专利申请号为CN2.5,授权日为2024年1月26日。

  专利摘要:本发明揭露了一种晶圆夹持组织,其包含:转盘;卡爪组件,其沿所述转盘的周向设置,所述卡爪组件包含:固定座,其衔接于转盘且装备有贯穿孔,所述贯穿孔的内侧壁设置有螺旋的导向槽;滑动件,其同轴设置于所述贯穿孔且周向装备有限位部,所述限位部卡接于所述导向槽;顶升组件,其设置于卡爪组件下方,以带动所述滑动件沿竖向移动;移动的滑动件可以沿轴线旋转,使得其上的凸起部与晶圆边际抵接或别离,以完成晶圆的夹紧或开释。

  今年以来华海清科新取得专利授权4个,较去年同期减少了55.56%。结合公司2023年中报财务数据,2023上半年公司在研制方面投入了1.39亿元,同比增63.98%。

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