证券之星音讯，依据企查查多个方面数据显现华海清科（688120）新取得一项发明专利授权，专利名为“一种晶圆夹持组织和晶圆后处理设备”，专利申请号为CN2.5，授权日为2024年1月26日。
专利摘要：本发明揭露了一种晶圆夹持组织，其包含：转盘；卡爪组件，其沿所述转盘的周向设置，所述卡爪组件包含：固定座，其衔接于转盘且装备有贯穿孔，所述贯穿孔的内侧壁设置有螺旋的导向槽；滑动件，其同轴设置于所述贯穿孔且周向装备有限位部，所述限位部卡接于所述导向槽；顶升组件，其设置于卡爪组件下方，以带动所述滑动件沿竖向移动；移动的滑动件可以沿轴线旋转，使得其上的凸起部与晶圆边际抵接或别离，以完成晶圆的夹紧或开释。
今年以来华海清科新取得专利授权4个，较去年同期减少了55.56%。结合公司2023年中报财务数据，2023上半年公司在研制方面投入了1.39亿元，同比增63.98%。
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